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全自動長軸輪廓儀
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技術參數
| 項目 | 參數 | |
| 測量范圍 | X軸最大測量范圍 | 1550mm |
| Z1（傳感器） | 20mm | |
| Z立柱行程 | 750mm | |
| 測量精度 | X軸示值誤差 | ±(2.5+0.002L)μm ※ |
| Z1軸指示精度 | ±(0.5+0.02H)μm ※ | |
| x軸 | 直線度 | 0.8μm /100mm 4um/全長 |
| 分辨率 | 0.5μm | |
| Z1傳感器 | 類型 | 光柵傳感器 |
| 分辨率 | 0.05μm | |
| 工作臺 | Y向調節 | ±10mm |
| 偏擺調節 | ±6° | |
| 升降V型鐵范圍 | 200mm | |
| 承載 | 750KG | |
| 爬坡角度 | 上升82°，下降89° | |
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| 文件名稱 | 文件類型 | 上傳日期 | 下載 |
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